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第452章 光刻！光刻！（第5页）

陈光远给三人倒了水：“你们也看到了，有什么想法？”

诸葛彪道：“我一直听说良率上不去，今天总算是明白了，主要因素还是在对准过程上。”

吕辰和钱兰没有说话。

陈光远问道：“你们知道这GCA-201CGS怎么做出来的吗？”

端起茶杯，喝了一口，看着窗外，自顾自说了起来。

“第一次百工联席会议的时候，小吕你从那四项国家级技术中拼出了集成电路，刘星海教授提出了星河计划。”

他顿了顿：“小吕，你知道吗？那个光学微细图形曝光技术，是我研发的。”

吕辰惊讶道：“陈厂长，我从来没听说过，我只知道这个技术是长光所研发的，不知道是您。”

陈光远笑道：“为了在物镜上蚀刻光学刻度，我们研究出了这项技术。当时百工联席会议召开，长光所接到邀请，我就带着这项技术来参加了。”

陈光远顿了顿：“这是题外话，说回来。当时星河计划方项，因为这项技术的原因，刘星海教授要求长光所牵头研制光刻机，因为这项技术，我的老师让我担任了光刻组的组长。”

他回忆道：“星河计划立项之初，虽然有钱先生、夏先生、刘教授，以及我的老师等人支持，但并不顺利，当时专家组吵得不可开交，晶体管和集成电路的路线之争，电子束蚀刻和光刻和路线之争，自己造和外面买的路线之争……，头三个月里，天天都在吵……”

“刘星海教授坚持认为集成电路是未来、光刻是未来、技术要掌握在自己的手里，为此，星河计划第一笔2700万资金，你们红星所一分没拿，全部给了其他组。”

他说道：“当时我们联系了哈工大、上海机床厂、武水院、天津仪表厂……，十几家单位，在长光所研发光刻机。没有图纸，没有样机，没有技术资料可以抄。我们只知道一个原理，光通过掩模版，投影到涂了光刻胶的硅片上，就能把图案转印上去。”

“但“知道原理”和“造出机器”之间，隔着十万八千里。用什么光源？汞灯。但功率要多大？灯管怎么散热？寿命怎么保证？”

“用什么镜头？从哪弄？我们一块玻璃一块玻璃地磨，磨完了装起来测，测完了发现像差太大，拆了重磨。

工作台怎么动？用手推是最原始的方案。但推完了怎么保证位置精度？加丝杠。丝杠精度不够怎么办？加光栅尺。光栅尺做不出来？自己刻。

对准标记怎么设计？十字架。但显微镜下怎么看清楚？加照明。照明角度不对怎么办？改。

每一根螺丝，每一块玻璃，每一个旋钮，都是这么一点一点“试”出来的。”

陈光远笑道：“我们把能想到的东西，一个一个往上加。加完了发现不行，拆了重来。有时候拆着拆着，忽然想通了，哦，原来应该先做这个，再做那个。就这么摸着石头过河，硬是摸出一条路来。”

吕辰三人听得都惊呆了。